通常所說的高純水，其定義不是很明確的，但一般都是指電阻率在10兆歐以上，即電解質濃度在0.01-0.02ppm以下的純水。同時，還要考慮到水中含有的微粒、微生物、有機物、溶解 氣體等等。另外，高純水不僅僅應用于電子工業，還廣泛應用于制藥工業、化學試劑工業，以及火力、原子能發電站的鍋爐水處理等方面。

    當然，在這些領域中應用高純水，在水質要求上是有一些不同的。例如在制藥工業以及在火力發電站的某些應用中，對水中溶解氧的含量要求就很嚴格。所以所謂的高純水，就是按照各自的目的和用途的不同，對某些特定的不純物進行高度提純的純水。其中，電子工業對高純水水質的要求是最嚴格的。所以，在實際應用中，純水設備產水或者超純水設備產水又稱為電子級超純水或18兆歐超純水。

   目前國家頒布的《電子級水國家標準》低于水質的要求仍然是考慮電導率（電阻率）、微粒、微生物、有機物等幾個方面。另外，有些情況下對水中溶解的氧等氣體也有一定的要求。